千级洁净室定义标准和要求
时间:2020-09-02 22:53:00 点击次数:6192
千级无尘车间主要是过滤大于或等于0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在50次以上。
无尘净化车间洁净度级别分为百级>千级>万级>十万级>三十万级,也就是说值越小,净化级别就越高,洁净度越高造价就越高。
无尘车间的净化洁净度根据生产工艺要求,合适就好,一味地追求高级别只能造成资源上的浪费。
1、洁净车间必须维持一定的相对正压,不同等级的洁净车间之间的压强不小于5Pa;洁净车间与非洁净车间之间的压强以不小于10Pa,以防止低级洁净车间空气逆流到高级洁净车间;
2、温度宜保持18~26℃
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
而无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照 明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等 性能之特性。
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